光刻机核心零部件供应商华卓精科重启A股IPO，实控人为清华教授持股37.81%

2月12日，证监会官网披露，北京华卓精科科技股份有限公司在北京证监局办理上市辅导备案登记，拟首次公开发行股票并上市，辅导机构为招商证券。这意味着这家深耕超精密测控领域的半导体设备企业，正式重启A股IPO进程。

华卓精科并非资本市场的"新面孔"。根据辅导备案报告，该公司曾于2020年6月申报科创板IPO并获受理，2021年9月通过上市委审议。此后，基于整体市场环境及自身资本运作发展规划，公司于2024年6月主动撤回了IPO申请。此番再度启动上市辅导，距其上次撤回申请不到两年。

公开资料显示，华卓精科成立于2012年5月，注册资本2.75亿元，是一家光刻机核心零部件供应商，主营业务为以超精密测控技术为基础，研发、生产超精密测控设备部件及整机，并提供相关技术开发服务。产品线涵盖混合键合设备、IGBT激光退火设备、EFEM/SORTER等高端设备，以及多系列超精密运动产品和主被动隔振产品。

公司实际控制人朱煜同时也是华卓精科的首席科学家，直接持有公司37.81%的股份，并通过直接持股、间接持股和一致行动协议合计控制51.89%的表决权。根据华卓精科此前的科创板上会稿，朱煜是清华大学长聘教授、博士生导师，曾于2016年至2019年担任北方华创独立董事。

财务数据方面，2018年至2020年，华卓精科营收分别为8570.92万元、1.21亿元、1.52亿元，净利润分别为1512.36万元、2087.24万元、1242.83万元，研发费用从1374.99万元逐年增长至2137.09万元。

业务进展方面，2025年11月，华卓精科宣布其第100台激光退火装备完成检测并正式发往客户现场，该公司激光退火装备由此迈入规模化应用的新阶段。

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