厦门银科启瑞申请芯片ITO镀膜真空度调节方法专利，提高了ITO薄膜光电性能稳定性和批次一致性

国家知识产权局信息显示，厦门银科启瑞半导体科技有限公司申请一项名为“一种芯片ITO镀膜真空度调节方法”的专利，公开号CN122105350A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体薄膜镀膜工艺控制领域，具体为一种芯片ITO镀膜真空度调节方法，包括：构建多源感知输入层，采集并整合宏观真空度数据、靶材放电电学参数、等离子体光谱特征参数及晶圆实时温度；构建微环境数字孪生层，计算瞬态氧消耗率并预测晶圆表面局部真实氧分压；构建协同决策与执行层，依据局部真实氧分压与目标氧分压的偏差，采用前馈反馈协同控制机制，调整进气装置的局部反应气体流量及腔室主抽气阀门开度，并通过动作解耦进行独立数学解算；本发明实现了对晶圆表面微环境真实氧分压的直接约束，提高了ITO薄膜光电性能稳定性和批次一致性。

天眼查资料显示，厦门银科启瑞半导体科技有限公司，成立于2021年，位于厦门市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本3549.2005万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门银科启瑞半导体科技有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息43条，此外企业还拥有行政许可14个。

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