森工新材料申请基于强化学习的PVA吸水辊晶圆干燥工艺调节方法及系统专利，有效降低晶圆水分残留与划痕缺陷率

国家知识产权局信息显示，深圳森工新材料科技有限公司申请一项名为“基于强化学习的PVA吸水辊晶圆干燥工艺调节方法及系统”的专利，公开号CN122129865A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明属于半导体制造技术领域，且公开了基于强化学习的PVA吸水辊晶圆干燥工艺调节方法及系统,传感融合模块搭建起全维度感知体系，通过多类传感器精准捕捉PVA辊、晶圆、环境及执行机构的四维状态数据，经跨模态融合算法处理后输出统一状态向量；强化决策模块结合专家知识图谱与深度强化学习，采用双驱动架构与动态多目标奖励函数，既能依托专家经验加速模型收敛，又能动态平衡干燥质量、效率、能耗与设备损耗，输出全局最优的辊压、转速等参数组合，有效降低晶圆水分残留与划痕缺陷率；通过质量反馈模块构建物理、光学、电学及时序趋势四维实时评估体系，从接触角、表面缺陷、电阻率分布等多维度量化干燥质量并即时反馈。

天眼查资料显示，深圳森工新材料科技有限公司，成立于2018年，位于深圳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1543.256万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳森工新材料科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息58条，此外企业还拥有行政许可12个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。