惠然科技申请调整电子探测器位置专利,提高成像质量

国家知识产权局信息显示,惠然科技有限公司申请一项名为“一种调整电子探测器位置的装置及方法”的专利,公开号CN122136246A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本申请公开了一种调整电子探测器位置的装置及方法,其中电子探测器沿从靠近物镜至远离物镜的方向包括依次连接的栅网、光导管部件和光电倍增管部件;装置包括位置调节机构,其与电子探测器连接,用于驱动电子探测器相对于物镜沿其自身轴线方向移动,以改变栅网的位置;控制单元,其与扫描电子显微镜以及位置调节机构通信连接;控制单元被配置为根据扫描电子显微镜与样品托盘之间的工作距离,控制位置调节机构驱动电子探测器移动至与工作距离相对应的目标位置。本申请的方案通过设置位置调节机构和控制单元,实现了栅网位置的精准调控,优化栅网附近电场,提高成像质量。

天眼查资料显示,惠然科技有限公司,成立于2016年,位于无锡市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本14804.93万人民币。通过天眼查大数据分析,惠然科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目15次,财产线索方面有商标信息102条,专利信息62条,此外企业还拥有行政许可5个。

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