江苏先导微电子首台12寸高端精密光学磁控溅射量产设备正式交付

2026年7月30日，江苏先导微电子自主研发的首台Star600-EOSS 12寸高端精密光学磁控溅射量产设备，在江苏徐州高新区生产基地完成设备组装与联调，通过自动化与工艺验证后，正式交付国内一家头部晶圆厂。该设备为12寸晶圆级光学磁控溅射设备，由江苏先导微电子开发制造。先导科技集团称，此次交付标志着公司在高端晶圆级光学镀膜装备领域实现了从研发、制造到产业化交付的突破。

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