华海清科自主研发的全自动板级CMP量产装备交付先进封装产线，系国内首台进入量产线

华海清科自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX已于近日完成出机，并交付至先进封装产线用于量产环节。该设备是首台进入国内量产线的全自动板级CMP装备，其设计针对大尺寸板级封装的工艺特性展开，具备对整个板面均匀性与平坦化的控制能力，能够适配低缺陷抛光要求；同时，其借助智能终点检测与自动化控制，可在多种工艺模式之间灵活切换，为先进封装产线在规模化量产中保持较高一致性和良率提供支持。

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